Blasenlose Kühlkreisbefüllung
Bei der Befüllung von Kühlkreisläufen, z.B. in komplexen Systemen im EUVL-Umfeld, ist es sehr wichtig, die Füllzeiten zu reduzieren, da die Nichtverfügbarkeit der Maschine hohe Produktionsausfallkosten verursacht. Beim Befüllen ist die Zeit bis zur Blasenfreiheit des Systems besonders relevant.
Um verschiedene Füllstrategien zu evaluieren, wurden Teile des Kühlkreislaufs aus transparenten Materialien hergestellt. Mit Hilfe einer hochauflösenden Video-Zeitrafferaufnahme und einer speziell entwickelten Bildauswertesoftware konnten wir die Menge der Luftblasen über die Zeit in einem Diagramm darstellen. Mit Hilfe von Sensoren werden auch der Druck an verschiedenen Stellen, der Durchfluss und die Temperatur aufgezeichnet.
Abhängig von der Rohranordnung und den verwendeten Wärmetauschern ist eine blasenfreie Befüllung mit einer Standardfüllung nicht möglich. Es kann Wochen dauern, bis sich die Restluft im Kühlmittel löst.
Durch Optimierung des Pumpenstandes / der Befüllstrategie ist es möglich, die Restblasenmenge im Vergleich zu einer Standardfüllung um mehr als 95% zu reduzieren und dies in kürzester Zeit.
Restluftdiagramm
